Sheet-2-Sheet

In vielen Bereichen der Halbleitertechnik werden Versuche unternommen, Schichten in einigen 10nm-Bereichen bzw. in einigen 100nm-Bereichen mit Hilfe der Nassfilmtechnik herzustellen, um so perfekte Funktionsschichten auf großflächige, ebene Substrate aufzutragen.

In den Sheet-2-Sheet FMP-Anlagen wird das zu beschichtende Substrat auf einem Lineartisch positioniert. Mit Hilfe von Präzisionsantrieben und Führungen wird das Substrat konstant durch die installierte Breitschlitzdüse im „Bead Coating Mode“ oder „Curtain Coating Mode“ beschichtet. Durch die nachfolgende, FMP-Diffusionstrocknung werden die endgültigen superdünnen Schichtdicken erreicht und damit Nano- & Mikrofilme auf Substraten hergestellt.

Vorteile der Sheet-2-Sheet FMP-Anlagen:

Beschichtung unterschiedlichster Fluide und Filmdicken ohne Qualitätsverlust

Optimiert für Beschichtungen mit

FMP-BreitschlitzdüsenHomogenität des Auftragsgewichts bzw. der Schichtdicke wählbar (min. ±1%)

Breite (250 mm – 3.000 mm)

Geschwindigkeit (0 m/min – 300 m/min)

Einfachste Handhabbarkeit mit Rezepturverwaltung und Datenauswertung

Ausführung reinraumtauglich & explosionsgeschützt

Plug & Play

Anwendungsbereiche:

  •  Kunststoff- & Metallfolien
  •  Papier, Karton
  •  Glasplatten, Displays, Wafer
  •  Kunststoffplatten
  • etc.