Fehlerfreie Beschichtungen von Substraten erfordern nicht nur verlässlich arbeitende und leicht bedienbare Auftragswerkzeuge, wie beispielsweise Beschichtungsdüsen, sondern stellen darüber hinaus auch Anforderungen an die eingesetzten Lösemittel, z.B. deren Blasenfreiheit. Zudem sind kontrollierte Rührprozesse erforderlich, um die speziellen Eigenschaften der angesetzten Beschichtungsfluide für fehlerfreie Schichten auf Substraten sicher zu stellen. Hinzu kommt, dass die Fluidzuführung zu den eingesetzten Beschichtungswerkzeugen pulsationsfrei erfolgen muss, um fehlerfreie Filme auf Substraten zu erzeugen.
Es ist somit das reproduzierbare, kontrollierte Zusammenwirken aller peripheren Prozesse eines Beschichtungsvorgangs, die beherrscht werden müssen, um Filmschichten auf Substraten mit hoher Qualität zu erreichen.
Zu Beginn der 80er Jahre erkannte Prof. Dr. Dr. F. Durst den potentiellen Markt für Präzisionsbeschichtungswerkzeuge. Nach vielen Jahren der Forschungs- und Entwicklungsarbeit und der Anmeldung zahlreicher Patente, zunächst an der Universität Erlangen-Nürnberg und später innerhalb der FMP Technology GmbH wurde die Fertigung perfekter, neuartiger viskositäts- und massenstromunabhängiger Beschichtungswerkzeuge schließlich gemeistert. |