In vielen Bereichen der Halbleitertechnik werden Versuche unternommen, Schichten in einigen 10nm-Bereichen bzw. in einigen 100nm-Bereichen mit Hilfe der Nassfilmtechnik herzustellen, um so kostengünstig und reproduzierbar Funktionsschichten auf großflächige, ebene Substrate aufzutragen.

Superdünne Schichten können mit speziellen, hochgenauen Beschichtungsanlagen und Schlitzdüsen der FMP TECHNOLOGY GMBH auf flexible Substrate (Folien, Papier, etc.) sowie auf starre Substrate (Glas, Wafer, Transistoren, etc.) realisiert werden.

Nano-Beschichtungen mit FMP-Schlitzdüsen (0,25 MB)